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真空鍍膜設(shè)備

科技創(chuàng)新為動力 專業(yè)服務(wù)為目標

多弧離子真空鍍膜機


  離子鍍沉積源的設(shè)計應(yīng)盡可能提高鍍膜過程中的離化率,提高鍍膜材料的利用率,合理匹配沉積源的功率,合理布置沉積源在真空室體的位置。
  合理布置加熱裝置,一般加熱器結(jié)構(gòu)布局應(yīng)使被鍍工件溫升均勻一樣。
  工件架應(yīng)與真空室體絕緣,工件架的設(shè)計應(yīng)使工件膜層均勻。
  多弧離子真空鍍膜設(shè)備一般應(yīng)具有工件負偏壓和離子轟擊電源,離子轟擊電源應(yīng)具有抑制非正常放電裝置,維持穩(wěn)定。
  真空室接不同電位的各部分間的絕緣電阻值的大小,均按相應(yīng)的要求。

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